氮化物光学微机电系统
- 成果编号
- 10188
- 完成单位
- 南京邮电大学
- 完成时间
- 2015年
- 成熟程度
- 试生产阶段
- 价格
- 面议
- 服务产业领域
- 电子信息
- 单位类别
- 其他高校
| 科技计划 | 成果形式 |
|---|---|
| 新技术、新工艺、新产品 | |
| 合作方式 | 参加活动 |
技术转让、技术开发、技术咨询、技术服务、技术入股 |
|
| 专利情况 | |
正在申请 ,其中:发明专利 15 项 |
| 综合介绍 |
|---|
面向可见光无线通信及传感的氮化物光学微机电系统 |
| 创新要点 |
氮化物光学微机电系统 光学微机电器件以微电子、光电子和微机电技术为基础，采用新的设计、制造方法，将微型传感器、微型结构、微型执行器用微组装工艺集成的光机电一体化系统。课题利用硅基氮化物材料的优异性能，开发氮化物微纳驱动器，结合其他功能器件，实现光学器件和微机电驱动器的集成，率先获得了氮化物光学微机电微镜和周期可调的氮化物光栅。集成氮化物微纳驱动器和LED光源、谐振光子器件，可以实现小型化的氮化物光学微机电系统。 |
| 技术指标 |
氮化物微镜厚度1微米，直径200微米 |
| 其他说明 |
| 姓名 | 对接成功后可查看 | 所在部门 | 对接成功后可查看 |
|---|---|---|---|
| 职务 | 对接成功后可查看 | 职称 | 对接成功后可查看 |
| 手机 | 对接成功后可查看 | 对接成功后可查看 | |
| 电话 | 对接成功后可查看 | 传真 | 对接成功后可查看 |
| 邮编 | 对接成功后可查看 | 通讯地址 | 对接成功后可查看 |
| 姓名 | 对接成功后可查看 | 所在部门 | 对接成功后可查看 |
|---|---|---|---|
| 职务 | 对接成功后可查看 | 职称 | 对接成功后可查看 |
| 手机 | 对接成功后可查看 | 对接成功后可查看 | |
| 电话 | 对接成功后可查看 | 传真 | 对接成功后可查看 |
| 邮编 | 对接成功后可查看 | 通讯地址 | 对接成功后可查看 |
