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柔性薄膜溅射工艺改进

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技术介绍

需求简要说明及主要技术参数
项目描述:12um/16umPEN塑料薄膜上溅射铬(130nm)/铝+铬(44nm+86nm); 技术缘由:柔性薄膜为我司静电遮阳系统中,最为重要的组成成分,金属镀层作为骨骼支撑PEN,完成遮阳系统的展开收缩功能实现,优良溅射工艺能给遮阳系统带来更号的功能和更长的使用寿命。 要求:有良好的镀膜工艺及设备,能处理好在镀膜过程中热效应对膜产生的影响。 达到的效果:溅射出符合我们工艺的金属膜,厚度在5 nm~114 nm之间。

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