适用于制造MEMS器件的材料及其加工技术
- 成果编号
- 17125
- 完成单位
- 南京理工大学
- 完成时间
- 未填写
- 成熟程度
- 试生产阶段
- 价格
- 面议
- 服务产业领域
- 新材料
- 单位类别
- 211系统院所
| 科技计划 | 成果形式 |
|---|---|
| 新材料 | |
| 合作方式 | 参加活动 |
技术转让、技术开发、技术入股 |
|
| 专利情况 | |
未申请专利 |
| 综合介绍 |
|---|
综合介绍： 随着微电子和微机电(MEMS)等领域的发展，对微齿轮、微弹簧等MEMS器件需求越来越多，因而从材料特性到制备工艺对新材料都提出了越来越高的要求，已有的研究表明, 利用常规材料来成形微小零件时, 材料表现出一系列明显的尺寸效应，从材料性能到制备工艺都限制了MEMS器件与技术的发展与应用。研究开发了一种适用于制造MEMS器件要求的微小精密零件的新材料及其相关加工工艺技术，从材料性能到工艺性能与常规材料相比都具有明显的优势。 |
| 创新要点 |
| 技术指标 |
技术指标： 适用于MEMS器件制造的材料技术； MEMS器件制造工艺技术，样品尺寸可达微、纳米量级，表面精度可达原子尺度。 |
| 其他说明 |
| 姓名 | 对接成功后可查看 | 所在部门 | 对接成功后可查看 |
|---|---|---|---|
| 职务 | 对接成功后可查看 | 职称 | 对接成功后可查看 |
| 手机 | 对接成功后可查看 | 对接成功后可查看 | |
| 电话 | 对接成功后可查看 | 传真 | 对接成功后可查看 |
| 邮编 | 对接成功后可查看 | 通讯地址 | 对接成功后可查看 |
| 姓名 | 对接成功后可查看 | 所在部门 | 对接成功后可查看 |
|---|---|---|---|
| 职务 | 对接成功后可查看 | 职称 | 对接成功后可查看 |
| 手机 | 对接成功后可查看 | 对接成功后可查看 | |
| 电话 | 对接成功后可查看 | 传真 | 对接成功后可查看 |
| 邮编 | 对接成功后可查看 | 通讯地址 | 对接成功后可查看 |
