一种水雾宏观检查装置技术研发
- 需求所属领域
- 装备制造
- 需求所处阶段
- 研制阶段
- 需求缘由
- 制造工艺改进
- 意向合作方式
- 技术咨询、技术服务
- 意向合作院校
- 拟投入资金额
- 面议
- 参加活动
| 需求简要说明及主要技术参数 |
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1、问题描述： 突破特殊Mura在Macro机台不易被观察到的技术难点。完成一种水雾宏观检查装置的研发，可有效改善良率loss，减少工程师工作Loading；实现面向不同应用的Mura检测产业化，有效替代人工操作。 2、主要技术参数 开发适用于特殊Mura检测，预期指标： 1.提升特殊Mura的检出率85%→95%，使检出不会因为人为因素而存在差异； 2.节约单片检查工时，3 min/片，提升检查效率； 3.水雾喷嘴覆盖面积1.3 m x 1.1 m； 4.水雾流量1-1000 mL/min，可由recipe控制； 5.喷嘴水雾可预加热，温度区间20-80℃，可由recipe控制。 |
| 姓名 | 对接成功后可查看 | 所在部门 | 对接成功后可查看 |
|---|---|---|---|
| 职务 | 对接成功后可查看 | 手机 | 对接成功后可查看 |
| 电话 | 对接成功后可查看 | 对接成功后可查看 | |
| 传真 | 对接成功后可查看 |
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| 电话 | 对接成功后可查看 | 对接成功后可查看 | |
| 传真 | 对接成功后可查看 |
